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测量仪器的分辨力表面形貌的特征分析显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：129 发布日期：2022-06-20
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测量仪器的分辨力表面形貌的特征分析显微镜 提供一种通过不滤波的方式将原始轮廓直接分离粗糙度和波纹度的图形的评定方法，综合考虑了幅值和间距的影响，因此比中线制评定方法更好地反映了表面形貌的特征。该方法不仅简单，而且适合于多种功能特性的评定。此外，研究表叫由于表面的多尺度属性，斜率和曲率的方差很强地依赖于测量仪器的分辨力或使用的滤波形式，因此对同一个表面其值不再是的。 表面形貌是一个不稳定的随机过程，该过程的高度分布方差取决于采样的长度，根据这种尺度依赖性建议：具有不同分辨力和扫描长度的仪器，对于相同的通过对表面形貌信号逐步分解，并选取适当的分界频率对此信号重构，可以地确定理想的评定基准。
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