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工件表面凝结形成固体的涂层微电子工业分析
所属分类：显微镜百科 点击次数：132 发布日期：2022-06-20
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工件表面凝结形成固体的涂层微电子工业分析在工件表面凝结形成固体的涂层。可以靠加热工件促进金属原子的扩散来改善金属涂层的质量以及涂层—基底界面的强度。 在PVD工艺中，形成涂层的原子一般由“物理”的方法所产生，例如蒸发或溅射。然而，如果涂层的原子是由化学反应而得到的，则这工艺称为化学气相沉积℃VD工艺用来制备多种涂层，其应用范围也表现在从微电子工业到表面耐磨层的沉积等多个领域。例如，可以采用CVD工艺在工具的表面涂以硬质的氮化钛以改善其耐磨性。把工件被放人石墨的坩埚或盘子上，在惰性气体中加热至950—1050℃，然后将四氯化钛气体、氢气与氮气通人腔体，由化学反应得到的氮化钛就会在工件的表面产生涂层。 热浸镀是一种将金属涂以其他高熔点金属表面的涂层工艺。该工艺是把工件简单地浸入涂层材料的熔池之中。热浸镀的一个常见的例子是钢板镀锌，镀锌的钢板称为镀锌钢，它可用作管道，螺丝与钉以及汽车车体等。
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