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高精度表面的轮廓数据测量工具显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：114 发布日期：2022-06-20
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高精度表面的轮廓数据测量工具显微镜通常.这些测量仪有较大的测量范围.对于某些表面形状，精度是足够的.而对较小的光学表面，可以使用一台高梢度x-y扫描仪。如果使该仪器安装上能够满足待测表面对高度和分辨率要求的光学探头，就能高质量地测量光学表面。作为非接触探头类仪器.必须介绍彩色探头和所谓的锥光探头采用这种基本思路，特别是测量强弯曲表面和非球面时，光学表面计量的一种趋势，或者进一步说，是以三坐标测量仪为基础，并使其适应光学计量的具体要求.一般地，以三坐标测量仪为基础能够保证探头相对于待测表面的全方位定位，探头本身传送高精度表面的轮廓数据，一般是高度数据。在这种方式中，更佳应用包括位移测量干涉仪(DMI)完成的全方位定位测量以及探头外高分辨率局部数据。下面讨论应用该原理的具体例子。
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