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瑕疵的表面检测显微镜三维计量方法的优点
所属分类：显微镜百科 点击次数：150 发布日期：2022-06-20
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瑕疵的表面检测显微镜三维计量方法的优点 波前计量方法是分析一束与待测样品相互作用后的波前。一般地，波前计量方法使用矩阵传感器，因而能够快速收集三维信息。波前计量方法的优点是:不仅可以应用于表面测量，而且也能测量整个元件的特性，对于后者，可以测量透明光学元件。有时.开创了一种纯表面测量可能相当难以实现的功能性测量方法。在某些情况下，两个表面对波前的组合效应要比其中一个的单独作用弱或简单些，这不仅是测量组件波前的能量，而且也是一个位得注意之处.当测量两个以上表面的组合作用时，找出潜在缺陷的根本原因并不容易，利用其他检验方法或者制模工的经验有助于查明具有更大瑕疵的表面。为了对生产进行质量控制，透射干涉术和波前传感法是非常有用的技术，利用这些方法可以测量一个零件的光学功能，所以，很容易地应用合格/不合格判断准则。此外，只需完成一次而不是两次表面测量。下面讨论干涉术和其他波前传感技术。未明确表明区别时，则这些计量技术可以应用于表面和透射波前两种测量。
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