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表面轮廓仪可用来测量固体表面粗糙度
所属分类：显微镜百科 点击次数：120 发布日期：2022-06-20
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表面轮廓仪可用来测量固体表面粗糙度表面轮廓仪一､测试目的︰1. 量测固体表面粗糙度。2. 量测镀膜厚度。二､样品准备须知及注意事项︰1. 样品量测前必须事先乾燥。2. 试片表面须清洁。3. 更换试片时，探针必须先升起，避免碰触到探针三､限制︰1. 仅能使用于片状或块状之试片。2. 避免在受外力振动的环境下操作。3. 较软材质不宜量测当材料受到高能量的EUV 光照射下，物质会产生光游离、光解离反应，产生小分子、离子或是自由基等碎片，这些碎片脱离材料表面，即所谓的释气，此为EUV 微影制程中特有的问题。光阻释气的问题一直被视为可能是EUV 微影中更大的光学元件污染源之一。在过去 DUV 的世代当中，DUV 光阻的主要光吸收团为光酸产生剂，其主要的光化学反应途径为产生光酸，故DUV 世代光阻释气并非核心关键的问题。在EUV 照射后，光阻材料由表面脱附的研究，2007 年Barkusky 的研究团队以不同能量的EUV 脉冲雷射研究PMMA 光阻，发现PMMA 光阻经高能照射后会有剥蚀现象，其剥蚀速率为0.008 nm cm2 mJ-1。14
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