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膜厚量测是使用经校正的椭偏仪量测
所属分类：显微镜百科 点击次数：213 发布日期：2022-06-20
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膜厚量测是使用经校正的椭偏仪量测高频超音波量测技术：光学接收系统的实验将超音波激发探头放置在试片背面，利用探头产生高频的超音波，验证干涉仪是否可以侦测出超音波讯号。当探头产生超音波后，在试片中的超音波会传至接收点的位置，其中在时间 4μs 附近到达的波群为探头本身讯号，紧接其后的讯号即是试片的超音波讯号，此讯号可以由波传路径的时间来推论。利用超音波讯号的频谱分析，由图中可得出侦测系统的频宽略大于 90 MHz为了进一步得出更的超音波实验结果，薄膜试片委请 PTB 使用 IWS的超音波装置量测，并纪錄原始结果供将来研究参考，试片样本是 SiO2 薄膜镀于 Si 110on 001 的基材上，图 2-5 是超音波波传速度的频散曲线以及不同频率时对应的讯号强度，图的试片膜厚是 1000 nm，膜厚量测是利用经校正的椭偏仪量测
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