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问如何测量真空溅镀膜厚或量测溅镀层的膜厚？
所属分类：显微镜百科 点击次数：298 发布日期：2022-06-20
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请问真空溅镀膜厚要如何量测？我是溅镀铝材，请问如何确认或量测溅镀层的膜厚。
以下的方法给您参考看看：
1. 如果你所使用的溅镀机有装石英震盪式监控器，可以在製程中监控你要的膜厚。2. 镀膜的同时搭一片测试片，镀膜完成后以表面轮廓描绘仪(Surface Profiler)量测膜厚。由于表面轮廓描绘仪是利用探针在试片表面感应起伏，所以测试片表面需保留部分区域未被溅镀，才能量测薄膜的高低差(膜厚)，最简单的方式是在测试片部分区域贴真空胶带，或者透过黄光製程，用光阻在测试片表面製作简单的图形。
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