电子显微方法的分类与基本原理达到约0．5μm

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所属分类：显微镜百科点击次数：172 发布日期：2022-05-08

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电子显微方法(electron microscopy)

电子显微方法的分类与基本原理自从光学显微镜问世以来，人

们认识世界的能力有了质的飞跃，在微观世界里我们更加地了

解了物质的本质。但是由于可见光波长的限制，我们利用光学显微

镜的分辨极限只可达到约0．5 μm级别，再往下就因为光的衍射而

无法分辨了。为了提高显微镜的分辨率，人们很容易想到利用波长

更短的射线束来代替光束。这样，电子显微镜就出现了。

电子显微镜可以分为两大类：透射电子显微镜(transmission

electronmicroscope，TEM)和扫描电子显微镜(scanning electron

microscope，SEM)。透射电子显微镜是利用高能电子束来代替光

束，使之穿透薄层样品，根据样品不同部位电子穿透能力的不同或

穿过晶体时衍射图样的不同，经过电磁透镜放大后在荧光屏上成像

。现代的TEM技术使得人们认识微观世界的本领大大提高了，它可

以提供高达0．3 nm左右的分辨率，并可以工作在SEM模式或扫描透

射电子显微镜(STEM)模式。扫描电子显微镜是利用一束电子聚焦在

样品表面并作扫描，探测其激发出的二次电子，然后利用二次电子

来调制一个与扫描电子束作同步扫描的显示器，在显示器上显现出

样品的相应图像。目前SEM的分辨率已经可以达到几个纳米了。

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