液相和气相外延工艺均能生产高纯度材料材料制备

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所属分类：显微镜百科点击次数：148 发布日期：2022-05-08

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外延系统的目前趋向

直到最近为止，材料制备中的最重要之点，仍然是朝着均匀

掺杂、高纯度和高质量外延层的方向发展，这就导致了对液相或

气相外延的优点进行比较的大量讨论。目前的趋势是朝着制备更

为复杂的层结构的方向发展，要求生长系统做出大量的动力学响

应——复杂的结、亚微米缓冲区和选择外延。这些要求着重强调

于两种主要方法的不同性能，因而导致更新方法的研究，以获得

满足器件要求的层结构。气相外延和液相外延仍然是最适用的工

业工艺流程。

高纯系统

只要细心操作，液相和气相外延工艺均能生产高纯度材料，

主要的差别在于所用的机械和经济效果。

因为用液相外延可以获得比较快的生长速度，所以可在比较

短的时间内生长出厚层和具有比较高的均匀性——时间过长反应

器就不稳定。然而，气相外延系统凭其能比较容易地同时生长许

多片的特点而得以充分发挥其成批生产的经济优点，并促进了片

与片之间的良好的重复性。

通过液相外延来达到表面完整和厚度控制是比较困难的。液

相外延所具有的剩余杂质似乎与气相外延有所不同。

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