微电子器件细小微粒测量多功能金相显微镜

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所属分类：显微镜百科点击次数：201 发布日期：2022-05-08

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微电子器件细小微粒测量多功能金相显微镜

工艺用水净化

水是微电子器件生产中使用最广泛的原材料之一。在

各种制造工艺和有关操作中，水既可用作介质，又可用作

载色剂。除了一般用途外（锅炉供水、空调等等），工艺

用水在制造工艺方面，间接用作冷却介质，直接用作溶液、

电解液、清洗、蚀刻和冲洗。在上述情况下，要将污染控

制在某一限度内，必须采用一定的水处理方法。只有将污

染控制在一定范围内，水质才能满足制造工艺的要求，这

种水才能直接用于加工过程，这是十分关键的问题、本章

提出了直接用于微电子生产过程的高纯水的标准，在微电

子生产过程中污染控制是极其重要的。本章还阐贮了水处

理方法、处理依据，以及由此而得到的益处。

凝结为了去掉水内很细小的微粒，人们必须采用某些

形式的凝结与絮凝j 凝结是引进带有负电荷的物质（微粒），

仪这些细小微粒上的电荷中和。如果把pH控制在5.5 到8.0

，而且又有强刚离子的时候，例如存有氯化物或硫化物的条

件下，凝结是最有效的。

在凝结过程中常用铝盐或铁盐，例如明矾（硫酸铝）

或硫酸铁。它们形成絮凝物氢氧化铝或氢氧化铁。这些氢

氧化物沉淀卅正电，它们使水内的硫酸根或氯根的负电荷

中和，从而使细小颗粒凝结成多孔的胶状沉淀物。

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