显微镜液体计数器检测的最小粒径一般为2微米

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所属分类：显微镜百科点击次数：193 发布日期：2022-05-08

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液体中的粒子测量

很多半导体制造工艺都和液体，例如水、光致抗蚀剂混合液

、溶剂、酸以及其它化学制品有关。一般说，这种液体应尽可能

没有粒子物质，正如空气和其它气体一样，必须测量液体中的粒

子含量，以对过滤装置和过滤技术进行性能检查。由于液体的

粘性比气体大，因此，从气体沉淀出来的，又大又密的粒子可以

在液体中悬浮相当长的时间。液体过滤后，要保持没有粒子，这

是十分困难的，因为流过容壁或长管所散落的粒子，它的粘性阻

力导致气流去除粒子的力比存在的力要大得多。

光散射与光吸收粒子计数器

散射粒子计数器对液体也是有用的。液体粒子计数器的光学系统

有一个透明窗，以便让光通过液体。由光电检测器检出液体粒

子散射光，这同用气体粒子计数器检出一样。然而，液体粒子计

数器的噪音电平比气体粒子计数器的噪音电平大，这是因为光束

与传感器窗以及液体介质相互作用的缘故。因此用液体计数器检

测的最小粒径一般为2微米。

因为带有各种色彩、折射率、粘性和蒸发压力的液体可用光

散射粒子计数器测试，所以气体粒子计数器就不存在测量的局限

性。液体的空穴现象、气泡形成、污物或在光学表面形成的气泡

以及粒子的光吸收都是在液体粒子计数中出现的一些问题。如果

采用粒子的光吸收特性作为测量粒径的机理(当然这与米埃理论

完全不同)，那么，这种局限性也就没有多大意义了。

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