显微镜百科
根据不同用户不同要求实验研究开发光刻胶
所属分类：显微镜百科 点击次数：109 发布日期：2022-06-20
网站网友点击量更高的文献目录排行榜：
点此链接
0
根据不同用户不同要求实验研究开发光刻胶 大多数的光学和非光学抗蚀剂需要靠坚膜来提高抗蚀性。主要目的是为了减少在刻蚀工艺中所弓I起的图像钻蚀：对不同的刻蚀工艺，坚膜条件也不同。干法刻蚀工艺的各向异性性能比较好，其坚膜的时间和温度可适当地减少和降低。干法刻蚀的工艺条件主要取决于刻蚀用的工作气体。近年来蚀剂的品种在逐年增加，新的抗蚀剂具有更好的化学和物理性能。这些材料都有各自的千法瓤蚀和湿法刻蚀的刻蚀剂。选择刻蚀剂的依据是，通过刻蚀后，原有抗蚀剂的图像几何尺寸应保持基本不变、边缘整齐、无严重钻蚀现象。 一般来说，通过坚膜可以提高抗蚀剂的化学稳定性。衡量一种掩膜材料好坏的标准是通过刻蚀后，在成像区投有针孔，在非成像区没有抗蚀剂的残留物和其他沾污。抗蚀刹必须能在某种溶液中彻底清除干净，同时这种溶液又不能影响衬底。遗憾的是，事实上没有一种扰蚀剂能完全达到这些要求。 现在，实验研究开发光刻胶的目标是：根据不同用户的不同要求，提供各种光抗蚀剂和电子束抗蚀剂。正性光致抗蚀剂独霸市场的时代已经过去了，各种新的抗蚀剂正在不断涌现。目前有几种新的抗蚀剂已进入最后的测试阶段，不久就可以商品化。最引人注目的是为某种特殊工艺要求设计的高温抗蚀剂，它的特点是坚膜温度高，抗蚀性能好，分辨率高，这种材料较适应于难瓣蚀材料的掩膜层。
关注页面底部公众号，开通以下权限：
一、获得问题咨询权限。
二、获得工程师维修技术指导。
三、获得软件工程师在线指导
toupview,imageview,OLD-SG等软件技术支持。
四、请使用微信扫描首页底部官方账号！
相关新闻
- 金相显微镜的结构、原理及应用 [2023-07-07]
- 金相显微镜如何观察金相组织 [2023-07-07]
- 金相显微镜的基本原理与应用 [2023-07-07]
- 金相显微镜会遇到的哪些误区 [2023-07-07]
- 金相显微镜厂家：金相试样的平整与磨光 [2022-07-30]
- 仪器创新对我国的发展有着重要的意义 [2022-07-30]
