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元件表面的粗糙度会直接影响微光学元件的特点
所属分类：显微镜百科 点击次数：233 发布日期：2022-06-20
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微光学元件表面轮廓量测元件表面的粗糙度会直接影响微光学元件之特性，如果表面粗糙太过严重会使其光学效率大大的降低，因此经由準分子雷射拖拉式加工之后的工件，我们都必须进行表面轮廓的量测。而我们是采用光学显微镜、干涉仪（Zygo）、薄膜测厚仪（α-stepper）及扫描式电子显微镜（SEM）分别对元件表面进行表面外观形状、蚀刻深度等的量测，并且利用电脑计算出加工后工件之粗糙度，目的在于对元件作初步的检验与评价制程的品质平衡是因为它适用于一个以上的阶段，其中可能存在的系统。相平衡是现在一个系统的相位特性与时间的关系。免费能源方面的考虑和图表类似提供了有关特定系统的，这是非常重要的平衡特性的讯息但他们没有说明实现一个新的平衡状态所需的一段时间。这是经常发生的情况，尤其是在固体系统，即一种平衡状态从来没有完全实现，因为绿平衡的方法是极其缓慢的，这样的系统被认为是在非平衡态或亚稳态。亚稳态或微观结构可能会持续下去，随着时间的推移经历只有极其轻微，几乎难以察觉的变化。通常情况下，亚稳结构超过均衡的现实意义。例如，一些钢和铝合金依靠亚稳态微观结构的发展实力，在精心设计的热处理。
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